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本研究通过射频溅射方法实现了基于ZnO薄膜的面内变形场传感器阵列,得核并将元素Li掺杂到ZnO中,以提高面内应变的灵敏度。陕西省柞水曹水蓄 【图文导读】图1.薄膜压电晶体管阵列的电镜与XRD表征。【引言】薄膜是面内应变传感的理想选择,坪抽也与现代电子工业技术兼容。
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